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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機(jī)PR200

從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)。

用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過氧化反應(yīng),在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮?dú)獾入x子體中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉預(yù)處理(膜過濾灰化)。
•從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
•低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機(jī)物去除。
■特點(diǎn)
• RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
•由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī),很小的位置都可以安裝。
•同步,自動(dòng)調(diào)諧,操作簡(jiǎn)單(PR200)。
•等離子體反應(yīng)器(灰化設(shè)備)(PR200)。
•同步、自動(dòng)調(diào)諧(PR200)。

從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)。

型號(hào) PR200
模式 DP模式,桶型
高頻輸出 Max300W
頻率 13.56MHz
同調(diào)方式 手動(dòng)2軸同調(diào)方式
反應(yīng)腔 耐熱玻璃0100x160mm
反應(yīng)氣體 1系統(tǒng)(氧氣)流量計(jì)
控制 手動(dòng)密閉閥
配管材質(zhì) 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金
外形尺寸 W350xD400xH500mm
重量 約10kg
電源 AC100V15A
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